机械加工工艺规程的制定，大体可分为两个步骤。首先是拟定零件加工的工艺路线，然后再确定每一道工序的工序尺寸、所用设备和工艺装备以及切削规范、工时定额等。这两个步骤是互相联系的，应进行综合分析。
工艺路线的拟定是制定工艺过程的总体布局，主要任务是选择各个表面的加工方法，零件精密机加工，确定各个表面的加工顺序，以及整个工艺过程中工序数目的多少等。
合理地选用精密零部件加工设备。粗加工主要是切掉大部分加工余量，并不要求有较高的加工精度，所以粗加工应在功率较大、精度不太高的机床上进行就可以了。而精加工工序则要求用较---的机床加工。粗、精加工分别在不同的机床上加工，既能充分发挥设备能力，即墨精密机加工，又能延长精密机床的使用寿命。在粗加工之后和精加工之前，还应安排低温退火或时效处理工序来消除内应力。这一点非常的重要，有条件，尽量还是要把精加工和粗加工分开。
微型机械在国外已受到部门、企业界、---学校与研究机构的高度重视。美国mit、berkeley、stanford﹨at&t的15名科学家在上世纪八十年代末提出小机器、大机遇：关于新兴领域--微动力学的报告的建议书，声称由于微动力学(微系统)在美国的紧迫性，应在这样一个新的重要技术领域与其他的竞争中走在前面，建议中央财政预支费用为五年5000万美元，精密机加工公司，得到美国---机构重视，连续大力投资，并把航空航天、信息和mems作为科技发展的三大重点。美国宇航局投资1亿美元着手研制发现号微型，美国科学会把mems作为一个新---的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划，从1998年开始，资助mit，加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发，年资助额从100万、200万加到1993年的500万美元。把mems列为关键技术项目。美国研究计划局积极---和支持mems的研究和应用，现已建成一条mems标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发。美国工业主要致力于传感器、位移传感器、应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究。很多机构参加了微型机械系统的研究，如康奈尔大学、斯坦福大学、加州大学伯克利分校、密执安大学、威斯康星大学、老伦兹得莫尔研究等。加州大学伯克利传感器和执行器中心(bsac)得到和十几家公司资助1500万元后，建立了1115m2研究开发mems的超净实验室。
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